| Power Supply (V) | 3.6 V to 14 V |
|---|---|
| Measuring Length (mm) | 340 mm |
| Accuracy Grade (µm) | ±5 µm |
| Grating Period (µm) | 20.000 µm |
| Measuring Step 1 (nm) | 12.5000 nm |
| Measuring Step 2 (nm) | 50.0000 nm |
| Data Interface (N/A) | Fanuc 01 Serial Interface |
| Electrical Connection (N/A) | Flange socket, male, 14-pin |
| Maximum Speed (m/s) | 3.00 m/s |
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