| Power Supply (V) | 3.6 V to 5.25 V |
|---|---|
| Interface (N/A) | Fanuc 02 serial interface |
| Measuring Length (mm) | 340 mm |
| Grating Period (µm) | 20.000 µm |
| Accuracy (µm) | 5.0 µm |
| Measuring Step (nm) | 50 nm |
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